クリーンルーム

先端技術センターでは、年間利用計画を踏まえてクリーンルームの運用と管理を行なっています。利用するグループは、まず設備管理ユニットに相談してください。

クリーンルーム利用規定 の遵守を義務付けています。

クリーンルーム仕様
室名 建物・室番号 設計クリーン度 室寸法
101クリーンルーム
(別名:大クリーンルーム)
開発棟(北)
101号室
クラス100,000 12m×16m
室内高9.8m 4.8tクレーン
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