超精密ユニットでは、超精密加工機ＵＬＧ-300を用いて、金属鏡を中心とする光学素子の開発・作製を行っています。基本的な平面鏡や球面鏡だけでなく非球面鏡や特殊な形状のミラーや研磨加工など挑戦的なものにも取り組んでいます。共同開発研究を通じて研究者と一丸となって進めています。