ULG-300は超精密ユニットでメインで活躍している超精密非球面加工機で，主にダイヤモンドバイトを使った旋盤加工で金属鏡を製作しています。材料はアルミが多く、アルミであれば切削のみで表面を鏡の様なきれいな面に仕上げることができます．
装置本体は部屋の中に作られたブース内の独立基礎の上に設置されているので，周りからの振動の影響を受けにくくなっています。また，温度制御は同じブース内の温調機にて行っており，その温度変化量は60時間あたり約0.1℃(2007年9月測定）．目標値が1時間あたり0.1℃なので，加工機の性能を十分に引き出すことができます．

• 高い運動性能と同時三軸コンピュータ制御で非球面形状加工が可能．
• 切削加工（旋盤、フライカット），研削加工の双方が同一の機械で可能．
• スピンドルは高速、低発熱の空気静圧軸受け
• 送り面は三軸ともにV-V転がり案内．
• 最小表示単位：1nm
• 運動精度：
  • X　0.2μm/250mm
  • Y　0.1μm/75mm
  • Z　0.1μm/150mm
• 繰り返し位置決め精度：±0.05μm

MA-200Dは超精密ユニットで研磨加工を行うときに活躍している研磨機で，主にガラスなどの脆性材料を磨いています．ガラスなどの脆性材料はもろく割れやすいという性質を持っているため，たとえダイヤモンドバイトをもってしてもきれいに加工することは非常に困難です．しかし，研磨剤という微小な粉を使って磨けばきれいな鏡面にすることができます．
MA-200Dは基本的には平面研磨機であり，ターンテーブルにポリッシャー（研磨用の工具）を貼り付け，その上に試料を錘で押しつけるようにして研磨します．また，写真右上の揺動装置を使用することで球面形状のものも研磨することができます．

• ターンテーブル直径：200mm
• ターンテーブル回転数：0〜150rpm
• 揺動装置ピッチ：6秒/１往復

研磨剤

• 酸化セリウム
• アルミナ
• ダイヤモンド（スラリー）
• 酸化クロム
• シリコンカーバイド
• コロイダルシリカ
• ベンガラ
• その他

ポリシャー

これで鏡などを磨きます．鏡の硬さや材質，精度などで使い分けて使用します．

• ポリウレタン
• ウレタン
• 研磨布
• アスファルトピッチ
• ビーズワックス
• マシナブルワックス
• アクリル
• その他