| Zygo GPI
レーザー干渉計 |
レンズ,鏡面の精度測定,基準面からの位相差を測定
視野 ： 直径100mm以下
光源 ： He-Ne(632.8nm)
所有レンズ ： 平面レンズ，球面レンズF0.75，F1.5，F3.3，F7.2， F11 |
| Mitsutoyo Crysta-Plus
３次元座標測定器 |
測定範囲 ： 500(x)×400(y)×400(z) mm
指示誤差 ： (3.5+4.5L/1000) μm (L:任意測定長[mm])
プロービング精度 ： 4μm |
| Mitsutoyo LEGEX910
ＣＮＣ３次元座標測定器
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測定範囲 ： 900(x)×1000(y)×600(z) mm
指示誤差 ： (0.35+L/1000) μm (L:任意測定長[mm])
※ＬＥＧＥＸ９１０は，センターの職員が操作を行います別途ご相談ください。 |
| 三鷹光器 NH3-SP
非接触３次元座標測定器 |
測定範囲 ： 150(x)×150(y)×120(z) mm
指示誤差 ： (0.1+0.3L/10) μm (L:任意測定長[mm])
測定原理
仕様
※一度センターの職員の指導受けてから使用してください |
| SolidSpec 3700
分光光度計 |
測定波長範囲：240〜2600nm
光源：50Wハロゲンランプ 重水素ランプ
検出器：PMT（R928相当） InGaAs−PD
資料室内寸法：900(W)×700(D)×350（H） |
FTIR 410
フーリエ変換赤外分光光度計 |
測定波数範囲：7800〜400cm−１
光源：セラミック特殊光源
検出器：DLAGS
資料室：175(W)×255(D)×170（H）
光路：センターフォーカス 光軸高さ70mm |
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Nikon顕微鏡MM-40
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上下移動量 150mm
微動テーブル付き
画像取り込み可能 |
Keyence VR-3200
ワンショット3Dマイクロスコープ |
測定範囲：対角30 - 224mm
広視野モード & 高倍率モード
測定可能高さ：10mm (広視野モード : ±5mm, ｌ高倍率モード : ±0.5mm )
画像取り込み可能
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| その他 |
移動可能な測定器，基準器
- ＦＩＳＢＡ社製干渉計（平面測定時時Ｄ＝１００ｍｍ，台内移動可能）
- Ｋｅｙｅｎｃｅ社製顕微鏡(画像取り込み可）
- セラミックスブロックゲージ（＜150ｍｍ）
- ガラススケール：（50mm ピッチ0.1mm），（250mm ピッチ1mm）
- ノギス：（300mm長，100mm幅）
- マイクロメータ （測定範囲0〜150mm）
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