これは購入したガラス球面鏡を研磨によってさらに精度を高めたものです．

もともとの要求精度が高くメーカーでは精度保障ができないものでしたが，研磨加工によって目標精度まで到達できました．先端技術センターのオプトショップで所有している大型三次元測定機LEGEX910の校正ミラーとして使用されました．

	要求精度	達成精度
材質	石英ガラス
形状	外径100mm（有効径80mm） 球面（凹）R=200mm（F1.5相当）
表面粗さ		RMS 1.8nm
形状精度	PV 100nm	PV 78nm