これは,表面は通常のアルミミラーですが，微細な溝を加工することで内部にバネ構造を持たせた可変形鏡です．裏側にはネジが切ってあり，そのネジを押し引きすることで表面の鏡を任意の形状に変形させる機能を持たせています．

全体としてはブロック形状ですが鏡の部分はバネ構造部分を除けば約0.2mmという厚さです．そのため平面に見える鏡面も，精密に測定すると下図のように凸凹ができています．

	目標精度	達成精度
材質	アルミ合金　A5052
表面粗さ		RMS 15nm
形状精度		PV 113nm

 

DMの内部構造

DMの内部構造です．縦横に微細な溝を加工することで，このような内部のバネ構造を持たせています．この溝はMEショップ所有のワイヤー放電加工機を使用して加工されました．